예처리, 반침투기술, 초순화처리 및 후급처리 등 방법으로 물속의 전도매체를 거의 완전히 제거하고 또 물속에서 리해되지 않는 교질물질, 기체를 모두 아주 낮은 정도의 수처리설비로 제거한다.

적용 범위:

1. 전자, 도금, 조명전기, 실험실, 식품, 제지, 일화, 건재, 조칠, 화학실험, 생물, 제약, 석유, 화학공업, 철강, 유리 등 분야.

2. 화학공업공예용수, 화학약제, 화장품 등 순수한 물을 사용한다.

3. 단/폴리실리콘, 반도체 웨이퍼 절단 제조, 반도체 칩, 반도체 패키지, 인라인 캐비닛, 액정 모니터, 전도성 유리, 배터리 (축전지), 비디오 파이프, 회로 패널, 청정 제품 및 각종 부품 등 생산 공정용 순수한 물.