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제품 상세 정보
| SpecEl-2000-VIS 타원계는 기판의 표면에서 반사되는 극화된 빛을 측정하여 파장의 함수로서 재료의 두께와 구절 지수를 결정합니다.SpecEl은 PC를 통해 제어됩니다. 버튼 한 번의 터치로 구절 지수, 흡수 및 두께를 측정합니다. |
올 인 원 정확한 시스템
SpecEl에는 통합된 광원, 분광계와 70°에 고정된 두 개의 극화기가 있습니다.또한 32 비트 윈도우 운영 체제를 가진 PC를 포함합니다.SpecEl은 0.1 nm만큼 스단일 층을 감지할 수 있으며 두께는 최대 5 µm입니다.또한, 그것은 0.005°까지 구절 지수를 제공할 수 있습니다.
SpecEl은 Call for Price에 사용할 수 있습니다.
SpecEl 소프트웨어 및 '레시피' 파일
SpecEl 소프트웨어에서 구성하고단계 분석을 위해 실험 방법 파일을 저장합니다.Save experiment method files for one-step analysis. '레시피'를 만든 후 실험을 실행하기 위해 레시피를 선택할 수 있습니다.
사양
| 파장 범위: | 380-780 nm (표준) 또는 450-900 nm (선택) |
| 광학적 해상도: | 4.0 nm FWHM |
| 정확도: | 0.1 nm 간격;0.005% 구절 지수 |
| 발생 각도: | 70° |
| 필름 두께: | 단일 투명 필름을 위한 1-5000 nm |
| 지점 크기: | 2 mm x 4 mm (표준) 또는 200 µm x 400 µm (선택) |
| 샘플링 시간: | 3-15 초 (최소) |
| 동적 기록: | 3 초 |
| 기계적 포용력 (높이): | +/- 1.5 mm의 각도 +/- 1.0° |
| 층 수: | 최대 32 층 |
| 참조: | 적용되지 않음 |
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