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제품 상세 정보
관련 매개변수:
| 프로젝트 | 설명 |
| SE 해상도 | 3.0nm (30kV)，고진공 모드 / 10nm (3kV), 고진공 모드 |
| BSE 해상도 | 4.0nm (30kV)，저진공 모드 |
| 배율 확대 | x5 ~ x300,000 |
| 가속전압 | 0.3 ~ 30 kV |
| 저진공 범위 | 6 ~ 270 Pa |
| 최대 샘플 크기 | 지름 200mm |
| 견본대 | I형 II형 |
| X | 0 ~ 80mm 0 ~ 100mm |
| Y | 0 ~ 40mm 0 ~ 50mm |
| Z | 5 ~ 35mm 5 ~ 65mm |
| R | 360o 360o |
| T | -20o~ +90o -20o ~ +90o |
| T | -20o~ +90o -20o ~ +90o |
| 최대 샘플 높이 | 35mm (WD=10mm) 80mm (WD=10mm) |
| 제어 유형 | 수동 5축 모터 구동 |
| 필라멘트 | 예비 중텅스텐 필라멘트 |
| 물경광란 | 이동식 4홀 대물렌즈 광선 막대 |
| 총 편압 | 고정 비율 편압, 수동 편압 및 자동 4편 |
| 검측기 | 2차 전자 검측기 고감도 반도체 배산란 전자 검측기 |
| 분석 위치 | WD=10mm, TOA=35o |
| 제어 | 마우스, 키보드, 수동 손잡이 |
| 자동 조정 | 자동필라멘트포화, 자동4편압, 자동총대중, 자동속류설정, 자동합축, 자동초점소상산, 자동밝기대비도 |
자세한 설명
1.S-3400N은 자동 필라멘트 포화, 4 편압, 자동 총 대 중, 자동 빔 스트림 설정,
자동 합축 자동 초점과 소상산, 자동 밝기 대비도 등.
2.3kV 저가속 전압 시 10nm 해상도를 보장합니다.
3.신형 5분할 고감도 반도체식 배산란 프로브.
4.S-3400N II형은 5축 모터대를 갖추고 있으며 기울기 각도는 -20도~+90도, 샘플은 최고 80mm에 달한다.
5. 시료 창고를 분석하면 EDX, WDX 및 EBSD를 동시에 설치할 수 있다.
6. 진공 시스템은 터빈 분자 펌프를 사용하여 깨끗하고 효율적이다
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