신형 Pura Plus는 미셀 계량기가 웨이퍼 산업의 장비 크기와 지표에 대한 최신 수요 변화에 맞추어 특별히 설계되었다.Pura Plus는 반도체 공장 내에서 생산 라인으로 통하는 가스 공급의 맨 끝에 다중 경로로 장착되어 초순수 불활성 가스의 응용을 모니터링하는 온라인 미량 습도 이동 변송기입니다.공장 내 가스 시스템은 여러 지점, 노드 및 사용 지점과 관련하여 복잡하게 분산되어 있습니다.따라서 일반적인 습도 측정 지점 후에는 미량의 누출, 비효율적인 시스템 설계, 부품 고장 또는 프로세스 오류 등으로 인해 습기가 스며들어 다운스트림 사용에 영향을 줄 수 있습니다.배포 시스템에 설치된 Pura Plus는 20ppb의 습도 수준에서 빠른 응답 지시를 제공합니다. 1ppb의 비동기식 응답 시간은 1분 미만입니다. 하이라이트 ppb 레벨 습도 변동에 대한 신속한 대응 저습도 ppb 수준의 감도(<1ppb) 다중 측정 설치의 새로운 개념 낮은 유지 관리 요구 사항 신호등식 상태 표시 경고 및 경고 지점 설정 가능 odbus 네트워크 호환 원격 제어 인터페이스를 위한 다중 채널 소프트웨어 (UHP) 초순수 가스의 파이프라인 체크
기술 지표
응답 속도 <1분 20ppb 습기 변동 1ppb의 응답 시간 습도 측정 거리 1 ppb에서 20,000 ppm 압력 범위 0 ~ 10 바 내압 등급 300 바 누설 테스트 0-9 mbar l/s 워크플로우 범위 1 ~ 10 l/분 작동 온도 5 ~ 40°C 저장 온도 30 ~ 70 ° C 전원 20 ~ 28 V DC 전력 소비량 5W 최대 외부 퓨즈 등급 500mA 급융형 데이터 출력 odbus ASCII 2선 RS485 경고 및 경고 출력 2번 최대 전압 40 V DC 최대 전류 100 mA의 가스 접촉 재료 케이스 소재 스테인리스 스틸 AISI 316L, 내부 표면 전기 광택 <10 Ra 센서 구조 산화 알루미늄 전해질, 상층 도금 보호, 하층 알루미늄층 내부 용적 4.4cm³ 무게 450g 가스 회로 인터페이스 1/4' m VCR 전기 인터페이스 9 - 핀 D - 유형 m 커넥터 전자기 호환성 EN50081-2 및 EN50082-2