마이크로미터 스케일 공간 해상도 LIBS 테스트 시스템 - MEEPLIBS
MEEPLIBS는 마이크로미터 척도에서 공간 분별의 원소 분석을 할 수 있으며, 전통적인 현미경과 * 결합을 실현하였으며, 표준 분석 구경 크기는 15마이크로미터와 18마이크로미터(zui 작은 것은 4마이크로미터까지 할 수 있음)로 실온 대기 환경에서도 테스트할 수 있고 특정 환경에서도 테스트할 수 있다.
반도체 소재, 패널 소재의 마이크로미터 척도 공간 해상도에 광범위하게 응용되는 실시간 요소 분석.
시스템 특징:
광원: 266nm 자외선 레이저 광원
감쇠기 장착 레이저 빔 성형 기능, 레이저 전력 소프트웨어 조정 가능
탐지 시스템의 자동 온도 제어를 실현할 수 있다.
테스트의 샘플 영역을 실시간으로 관측할 수 있는 시스템에 카메라 구성
전동 3차원 조절대를 배치하여 레이저 초점 위치를 교정하고 실험의 중복성 정밀도를 높이며 샘플에 대해 서열 측정을 진행할 수 있다
질량 zui 경량을 포함한 모든 요소를 분석 및 측정할 수 있음
샘플 사전 처리 없이 신속하게 검사