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미압 진공계
광볼트, 반도체 및 산업 시장에서 프로세스 제어에 필수적인 정밀 진공 측정을 위한 마이크로 압력 진공계.적용 대상: 진공로, 진공포장, 플라즈마 살균기, 냉동 건조, 진공 증류, 석유화학 산업, 반도체 산업, PECVD/ALD 공정 설비, 플라즈마 각식 공정 설비
제품 상세 정보

미압 진공계고안정 커패시터 민감 소자를 사용하여 뛰어난 과압 저항력과 우수한 장기 안정성을 갖추고 있으며 태양광, 반도체 및 산업 시장에서 프로세스 제어에 중요한 정밀 진공 측정에 적용됩니다.첨단 제조 기술과 공정은 응용 장면의 중복성을 보장하며, 본 압력계 작업 전압은 24V DC이며, 표준 (0~10) V DC 시뮬레이션 출력 신호, 전체 눈금 측정을 가지고 있으며, 사용 가능한 범위는 1Torr (133Pa) 에서 10Torr (1.33kPa) 이다.

주요 특징

업계 표준 커넥터

고정밀도: 표준 ±0.5% 판독, ±0.25% 판독(옵션)

정밀 필름은 우수한 성능을 보장한다.

작동 온도 보상 범위 넓음

낮은 회로 소음과 빠른 응답

환경 조건의 변화에 취약

뛰어난 과압 방지 설계

과부하 및 폭파 압력 정격

사양 매개변수

측정 거리 10토르A/1.33kPa.A
정밀도 ±0.5% 독서;±0.25% 판독(옵션)
작동 전압 (18~24) V DC
출력 신호 (0~10) V DC
작동 온도 (10~50)℃
측정 매체 기체
전기 이음매 9 pin 아날로그 인터페이스
프로세스 연결 KF16는
전보 예열 시간 10분
케이스 소재 스테인리스강
접액 재료 镍基合金

연결 정의

微压真空计

미압 진공계참고 사항 및 설치 요구 사항

주의사항

1 선택한 전원은 진공용량 압력계의 입력 전원과 일치해야 한다.

2 차폐 케이블의 차폐층은 전원의 공용단 전원과 연결해야 한다.

3 본 시리즈 진공 용량 압력계 접선은 접선 안내도에 따라 연결해야 하며, 오류가 없어야 전기가 통한다는 것을 확인해야 한다!

4 전원이 켜져 있을 때 플러그를 꽂는 것을 금지한다.

5 제품을 다 쓴 후에는 플러그 전원을 뽑아야 한다.

설치 요구 사항

1 진공 용량 압력계는 수직으로 위로 설치해야 한다.

2 진공 커패시터 압력계는 분해 조립 과정 중 조심하고 가볍게 놓아야 하며, 충돌을 명심하여 계기 오차를 일으키지 않도록 해야 하며, 그렇지 않으면 다시 교정해야만 사용할 수 있다;

3 진공 커패시터 압력계는 진동이 있는 위치에 설치할 수 없습니다. 진동 위치에 설치해야 할 경우 진공 호스로 연결하여 진동을 피하십시오.

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