코징3 표적 자기 제어 사출기

모델:VTC-600-3HD

제품 개요:

VTC-600-3HD 3표적 자기 제어 사출기 예zui새로 연구개발한 도금설비는 단층 또는 다층 철전박막, 전도박막, 합금박막, 반도체박막, 도자기박막, 매체박막, 광학박막, 산화물박막, 경질박막, 폴리테트라불화에틸렌박막 등을 제조하는데 사용할수 있다.동종 설비에 비해 광범위하게 응용될 뿐만 아니라 부피가 조작에 편리하다는 장점을 가지고 있으며, 실험실에서 재료 박막을 제조하는 이상적인 설비이며, 특히 실험실에서 고체 전해질 및 OLED 등을 연구하는 데 적합하다.

주요 특징:

• 여러 종류의 박막을 제조할 수 있고, 응용이 광범위하다.
• 부피가 작고 조작이 간편하다.
• 진공 챔버, 진공 펌프 세트 전체 기계 모듈화 설계, 제어 전원은 분리형 설계로 사용자의 실제 수요에 따라 구매 수요를 조정할 수 있다.
• 사용자의 실제 수요에 따라 전원을 선택할 수 있으며, 하나의 전원으로 여러 개의 표적총을 제어할 수도 있고, 여러 개의 전원으로 단일 표적총을 제어할 수도 있다

자기 제어 사출 헤드：

• 계기에는 3개의 자기 제어 사출 헤드가 설치되어 있으며, 모두 수냉 겹층을 가지고 있다
• 사출 헤드 중 하나는 무선 주파수 전원과 연결되어 있으며, 주로 사출 절연성 표적재이다
• 직류 전원에 연결된 또 다른 사출 헤드, 주요 사출 전도성 표적재
• 표적재 사이즈 요구: 지름 50mm, 두께 0.1-5mm(표적재 재질에 따라 두께가 다름)
• 예비용으로 RF 케이블을 개별적으로 주문 가능
• 장치에는 과녁 냉각을 위한 수냉기 한 대가 포함되어 있다

샘플링 테이블：

• 샘플링 테이블 크기:140mm(zui4'의 베이스를 배치할 수 있음)
• 로더를 회전할 수 있으며 속도는 1-20 rpm입니다 (조정 가능).
• 샘플링 테이블zui높은 가열 온도는 500 ℃ 이다

진공강체：

• 진공강체:300mm×300mmH, 스테인리스강으로 제작
• 관찰 창: Φ100mm
• 캐비티 오픈 방식은 위쪽 상단 개방을 채택하여, 과녁을 바꾸기가 더욱 쉽다.

가스 유량 컨트롤러：

• 계기 내부에 2개의 질량 유량계가 설치되어 있는데, 양정은 0-100sccm이다.
• 6형 터치스크린에서 가스 흐름 설정 가능
• 이 시스템은 Ar 가스가 필요하며 가스통에 감압 밸브가 설치되어 있습니다 (장치에는 포함되지 않음).

진공 시스템：

• GZK-103D 분자 펌프 시스템 세트(독일 제작)
• 표준 5E-5mbar 한계 7.4E-6mbar

박막 두께 측정：

• 정밀한 석영 진동 박막 두께 측정기가 기기에 설치되어 박막의 두께를 실시간으로 측정할 수 있으며 해상도는 0.10이다
• LED 디스플레이는 제작된 필름의 관련 데이터도 입력합니다

제품 폼 팩터 크기：

• L1300mm×W660mm H1200mm
• 순중량: 160kg

코징3 표적 자기 제어 사출기

모델:VTC-600-3HD

품질 인증:CE 인증

프롬프트 사용：

• 이 장치는 DIY 장치이므로 매개 변수 변화가 크므로 구매하기 전에 반드시 전화로 자세히 소통하시기 바랍니다
• 더 나은 박막 품질을 얻기 위해서는 고순도 가스가 유입되어야합니다 (권장 > 5N)
• 도금막을 사출하기 전에 사출 헤드, 표적재, 기판과 견본대의 청결을 확보한다
• 박막 과 기저 의 양호한 결합 을 이루려면, 튀기 전 에 기재 표면 을 깨끗이 청소하시오
• 초음파 세척 (자세한 매개 변수는 아래 사진을 클릭): (1) 아세톤 초음파 (2) 이소프로필알코올 초음파 - 유지 제거 (3) 질소 건조 (4) 진공 건조기 수분 제거.
• 플라즈마 세척: 표면을 거칠게 할 수 있고, 표면 화학 키를 활성화할 수 있으며, 추가 오염물을 제거할 수 있다.
• Gr, Ti, Mo, Ta와 같은 얇은 완충층 (5nm 정도) 을 만들어 금속과 합금의 부착력을 개선하는 데 사용할 수 있습니다.

경고：

• 주의: 제품 내부에 고압 부품이 설치되어 있어, 사사로이 분해하는 것을 금지하고, 전기를 가지고 기체를 이동한다
• 가스통에 감압밸브(설비표준에는 포함되지 않음)를 설치하여 기체의 출력압력이 0.02메가파스칼로 제한되도록 보장해야 한다다음을 사용하여 안전하게 사용
• 사출 헤드가 고전압에 연결되다.보안을 위해 작업자는 장치를 끄기 전에 샘플을 설치하고 표적을 교체해야 합니다.