수직 슬림형 폼 팩터(FD-150A, FD-200A, FD-320A, FD550A 웨이퍼 슬림형)

주요 용도:
본 설비는 주로 사파이어 라이닝, 실리콘 칩, 세라믹 칩, 광학 유리, 석영 결정체, 기타 반도체 재료 등 비금속과 금속의 경직성 재료 박형 정밀 부품의 고속 감소에 사용된다.
스탠드 슬림형 폼 팩터의 주요 특징:

1. 흡판은 고객의 공정요구에 따라 전자기흡판과 진공흡판으로 나눌수 있으며 흡판의 크기는 고객의 수요에 따라 맞춤형으로 제작할수 있으며 직경은 320-600mm이다.
2. 모래바퀴 주축은 정밀한 고속 회전 전기 주축을 사용하며, 구동 방식은 주파수 변조 속도 회전 속도는 서로 다른 공정 요구에 따라 PLC 제어 시스템이 지원하는 구동 모드에 따라 상응하는 회전 속도 3000-8000 회전 조절 가능을 변경할 수 있다.
3. 모래바퀴 공급 모드를 3단으로 나누어 설치하면 효과적인 얇은 방안을 더욱 편리하게 설치할 수 있고 얇은 후의 정밀도와 표면 효과를 높일 수 있다.
4. 칼을 맞추는 방식은 사륜과 흡판을 바꾸지 않고 서로 다른 두께의 공작물에 대해 한 번만 칼을 맞추면 연속적으로 작업할 수 있으며 매번 칼을 맞출 필요가 없다.
5. 본 기계는 고정밀 실크 막대 및 레일 부품을 사용하며, 구동 방식은 서보 구동이며, 서로 다른 재질의 공작물 및 공정 요구에 따라 PLC가 제어하는 구동 모드에 따라 실크 막대의 회전 속도를 상응하게 변경할 수 있다. 즉 모래바퀴의 칼 진입 속도는 속도 0.001-5mm/min로 조절할 수 있으며, 제어 공급 정밀도는 고해상도 래스터로 측정한다.
6. 본 기기는 선진적인 타이완 브랜드 PLC와 터치스크린을 채용하여 자동화 정도가 높고 휴먼 컴퓨터 대화를 실현하며 조작이 간단하고 일목요연하다.

7. 설비는 연마 비틀림을 측정할 수 있고, 자동으로 공작물의 연마 속도를 조절할 수 있으며, 따라서 공작물의 연마 과정 중 압력이 너무 커서 변형 및 파손이 발생하는 것을 방지할 수 있으며, 자동으로 사륜의 마모 두께 치수를 보상할 수 있으며, 직경 150웨이퍼의 두께를 0.08mm의 두께로 얇게 하여 부서지지 않게 할 수 있다.평행도와 평면도는 ±0.002mm 범위에서 제어할 수 있습니다.
2.얇아지는 효율이 높습니다.LED 사파이어 라이닝은 분당 연마 속도가 최고 48 마이크로미터 얇아집니다.실리콘 조각은 분당 연마 속도가 최고 250마이크로미터 감소할 수 있다.
주요 기술 매개 변수:

장치 축소 효과도: